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一种微尺度火工品发火温度测量装置，包括单晶硅基底，单晶硅基底上生长一层二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上通过MEMS工艺溅射铂微结构换能元及与铂微结构换能元连接的第一电极，第一电极作为铂微结构换能元的电压输入端；同时在铂微结构换能元中间利用MEMS工艺溅射铂温度敏感元件，铂温度敏感元件和第二电极连接，铂温度敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极形成四线制测量法；本发明将成熟的MEMS加工工艺与铂材料电阻温度特性进行相结合，具有敏感元件尺寸小、线性度好、测量精度高等特点。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN201911085382.1
Filing Date： 2019-11-08
Publication Date： 2020-08-04
Pub. No.： CN110726490B
Applicants： 西安交通大学
Legal Status： 授权
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