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本文采用电弧增强型磁控溅射（AEMS）技术在生物医用NiTi合金表面制备出梯度类金刚石（DLC）薄膜，梯度膜的成分设计理念是Ti—TiC—TiC+DLC—DLC，以期消除薄膜内应力大、膜基结合力差的弱点。通过Raman光谱、X射线光电子能谱（XPS）、扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、摩擦磨损及体外生物学试验，较为系统地研究了NiTi合金表面不同温度、偏压条件下制备的梯度DLC薄膜的微观结构特征和力学性能及生物相容性。
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Degree： 工学硕士
Mentor： 憨勇
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Year： 2009
Language： Chinese
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