电源是单晶硅加热设备中的重要组成部分。随着单晶硅炉加热电源行业的发展，对加热电源的要求也越来越高。传统的可控硅相控电源已经无法满足低谐波污染，高功率密度，轻量高效化的要求。近年来，高频开关电源发展迅速，特别是自20世纪80年代以来，IGBT的出现，使得开关电源在中大功率范围内的应用成为可能。由于高频开关电源在体积和效率及成本方面的优势，它正在逐步取代相控电源成为主流。然而，开关频率的提高和功率的加大，也产生了诸如更大的损耗及电磁干扰等问题。谐振软开关技术的出现解决了这一问题，而本文中研究的串联谐振变换器是一类典型的谐振软开关电路。 本文首先对单晶硅炉加热电源的现状进行了介绍，并且简要分析了目前已存在的单晶硅炉加热电源方案的优缺点。对谐振变换器做了简要论述，并着重分析了串联谐振变换器、并联谐振变换器和串并联谐振变换器各自的特点。对串联谐振变换器的原理进行了详细的介绍，并推导出了串联谐振变换器工作于不同模式下的变换器参数之间的数量关系，并对不同工作模式进行了比较。为后面的变换器设计部分奠定了理论基础。提出了一种利用损耗计算和电路软开关条件分析来确定谐振电路参数的方法。对主电路部分的功率器件进行了详细的参数计算和选型。并完成了对控制及驱动电路的设计。通过matlab的simulink仿真工具对电路进行了仿真分析。完成了对实验平台的搭建，并且进行了调试和效率优化。给出了实验结果并进行了分析。另外，将本装置和移相全桥变换器进行了对比实验，验证了串联谐振变换器的优越性。实验的结果表明，将串联谐振软开关技术应用于单晶硅炉加热电源领域的方案是可行的，并且可以获得较高的效率。此外，此方案可以有效提高电源的频率，对于减小电源体积，提高功率密度，降低产品成本有一定的现实意义。