太阳能由于来源丰富、对环境无污染，是最有可能解决目前人类所面临的能源和环境危机的一种绿色能源。目前，光伏发电是利用太阳能的主要方式之一，而由于各种技术原因和客观困难，在过去到未来相当长的一段时间里，晶体硅太阳电池都将是光伏发电的主力。但是由于晶体硅太阳电池制造技术和成本的制约，目前光伏行业应用和推广都受到了不小的局限，提高晶体硅太阳电池的光电转换效率和降低电池的制作成本就成为了当前的迫切需要。
表面钝化技术能够有效地提升晶体硅太阳电池的转换效率，并且能够很好地适应光伏行业降低成本的发展需要。本文以效率提升为重点，对晶体硅太阳电池背面钝化技术进行了深入的探讨和研究。设计实验，利用氮氧化硅/氮化硅(SiOxNy/SiNx)叠层薄膜作为电池的背面钝化层，制作了单晶硅PERC电池和多晶硅PERC电池，并对两者进行了系统的对比研究。还使用全背面硼扩散钝化的办法，制作了多晶硅PERT结构电池。实验结果发现，单晶硅PERC电池获得了良好的钝化效果，效率提升约0.8%;而多晶硅PERC电池，由于多晶硅片表面抛光的困难，效率提升很少，而且存在漏电的问题。根据这一实验结果，我们认为PERC技术在当前的技术基础上，并不适用于多晶硅太阳电池。因此，我们针对多晶硅电池又设计了硼扩散背场钝化的PERT电池，这种设计取得了良好的结果，电池效率获得了约0.5%的提升。
本文通过上述研究，有效提升了工业化晶体硅太阳电池的转换效率，对于光伏行业的下一步发展，具有启示和指导的意义。