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本发明一种磁性悬浮电极介质阻挡弥散放电等离子体发生装置，包括聚四氟乙烯支架，该聚四氟乙烯支架的底部中心处自下而上依次设置有磁性接地电极、微孔陶瓷和磁性悬浮电极，该聚四氟乙烯支架的顶部中心处自上而下依次设置有高压电极和氧化铝陶瓷阻挡介质；其中，磁性悬浮电极和氧化铝陶瓷阻挡介质之间留有间隙。工作时，交流电源驱动下，本发明将产生由多点到面的负极性弥散放电，高压侧成为瞬态阴极，可聚集大量活性粒子。本发明通过在阻挡介质表面设置磁性铁粉末，在阻挡介质表面制造大量三结合点，获得弥散放电等离子体；放电过热时，铁粉可熔化带走热量保护阻挡介质材料。本发明可作为薄膜、绝缘子等材料表面改性方面的等离子体发生装置。
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Type： 发明专利
Patent No.： CN201711107912.9
Filing Date： 2017-11-10
Publication Date： 2018-03-30
Pub. No.： CN107864544A
Applicants： 西安交通大学
Legal Status： 在审
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