为提高锆(Zr)合金的抗高温水蒸气性能,采用磁控溅射技术,通过改变沉积过程中的N_2流量,在Zr合金表面制备不同Cr/N比的涂层,研究不同N含量对涂层结构和抗高温水蒸汽氧化性能的影响。利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪对涂层氧化前后的表面与截面形貌、化学组成、相结构进行观察和分析,利用纳米压痕仪测量涂层的力学性能,通过高温水蒸汽氧化试验评估涂层的抗氧化性能。结果表明,随N含量的增加,涂层的生长结构分别为＂疏松柱状＂、＂致密非柱状＂、＂致密柱状＂。其中,＂致密非柱状＂结构的涂层具有最高的硬度,是＂疏松柱状＂涂层的2倍。同时,该涂层在氧化过程中生成的Cr_2O_3氧化层均匀致密,可以有效防护Zr合...